PB系列中频电源是广泛应用在太阳能电池制造及真空镀膜过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)镀膜工艺上的特种电源。 产品特点: ●采用先进的软开关技术,高效环保 ●FPGA+ARM全数字化控制平台,智能更可靠 ●快速的电弧响应,响应时间<100ns ●模块化冗余设计,标准机架安装方式,维护方便 ●极低电弧能量,快速高效的电弧检测和灭弧方法