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PB系统中频电源

PB系统中频电源

PB系列中频电源是广泛应用在太阳能电池制造及真空镀膜过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)镀膜工艺上的特种电源。产品特点:●采用先进的软开关技术,高效
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产品详情

  PB系列中频电源是广泛应用在太阳能电池制造及真空镀膜过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)镀膜工艺上的特种电源。

  产品特点:

  ●采用先进的软开关技术,高效环保

  ●FPGA+ARM全数字化控制平台,智能更可靠

  ●快速的电弧响应,响应时间<100ns

  ●模块化冗余设计,标准机架安装方式,维护方便

  ●极低电弧能量,快速高效的电弧检测和灭弧方法

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